禁宫侍从长颜之推、立法院主任立法官薛道衡、总监察长陈德信，一致建议高纬到河外招募新军，从头来过，如果仍不能支持，就投降陈国。

这个办法倒是得到了高纬的认可，正月3日，胡太后和穆舍利先从邺城出发，前往济州，正月9日，高恒也离开邺城东下。

正月18日，北周大军抵达邺城城下，正月19日，攻城开始。

高纬认定城池不保，不及两国交锋，就率一百骑兵向东逃走，而让武卫大将军慕容三藏，保卫邺城皇宫。

城中的文武官员很快就全都投降，周军顺利进城。

慕容三藏是慕容绍宗的儿子，仍在宫门拒敌，眼见大势已去，只好放弃抵抗，宇文邕亲切地接见了他，任命他为仪同三司。

领军大将军鲜于世荣是高欢的旧部，是唯一死战到底的将领，在周军已完全占领邺城的情况下，他仍在三台擂动战鼓，与左右几十个人奋勇作战，最终失败被杀。

一大批降臣中，各人待遇不尽相同，宇文邕斥责莫多娄敬显说：“你有三项死罪，去年从晋阳逃往邺城，带着小老婆，却抛下娘亲，是不孝，表面为齐国效忠，暗中却写信给我，是不忠，既然投降，就应死心塌地，却脚踩两只船，是不信，如此不孝不忠不信，不死还等什么。”下令斩之。

国立大学教授熊安生和主任立法官李德林，则很受宇文邕重视，宇文邕甚至到李德林家宣读诏书：“我征服齐国最大的收获就是得到你。”

李德林后来颇有功勋，可惜却并不是对宇文邕。

尉迟迥的侄子尉迟勤负责追捕高纬。

正月21日，高纬渡过黄河进入济州，当天又把皇位禅让给大丞相、任城王高湝，再用高湝的名义发布诏书：“尊太上皇高纬为无上皇，高恒为宗国天王。”让总监察长斛律孝卿，把禅让诏书及玉玺送往瀛州。

斛律孝卿出了济州城，没有前往瀛州，而是直奔邺城投降。

高纬方寸大乱，把胡太后留在济州，派高阿那肱驻守济州关，侦察北周的行踪，然后和穆舍利、冯小怜、高恒、韩长鸾、邓长颙等数十人，再向东逃奔青州。

送走高纬之后，高阿那肱立即向北周投降，并催促周军加速前进，承诺生擒高纬，所以当高纬询问周军情况时，高阿那肱不断报告说：“周军距离还相当远，我已下令烧掉桥梁，挖断道路。”

高纬放宽心，赶到青州后便不再行动，而周军在高阿那肱的指引下，迅速突袭青州，高纬大为恐慌，把一袋黄金拴到马鞍上，带着穆黄花和冯小怜等十几人向南逃窜。

正月25日，尉迟勤在南邓村追到高纬，连同之前在济州捉到的胡太后，一起押往邺城。

立国28年的北齐政权结束。

正月26日，宇文邕下诏追赠斛律光和崔季舒官位谥号，并另行安葬，他们仍活在人世的子孙各按门荫大小，分别任官，家人及财产被没收入官的，一律发还。